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產品型號：SEC-N112
更新日期：2024-04-02簡要描述：Horiba質量流量控制器SEC-N100系列特點：1、直接測量管道內流體的質量流量2、工作穩定可靠3、適應的流體介質面寬4、廣泛的應用環境5、多種實時在線測控功能6、可擴展性好
Horiba質量流量控制器SEC-N100系列優點：
大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給
特點介紹：
1、數字式/模擬式通信
RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）
2、可與其它系列產品兼容
復合氣體/復合量程
可以方便的在客戶端更改對應氣體和量程
3、高精度控制：±1.0%設定流量
選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass
4、快速響應：在可控流量范圍內，響應時間≦1sec
內置PID參數，可以調整響應時間
5、氣閥種類：
電磁閥(~50SLM)
壓電陶瓷閥(100/200SLM)
6、密封圈材質：橡膠或金屬
7、氣路表面：未經拋光處理
8、接口：僅有VCR接口
9、RoHS要求：滿足RoHS要求
10、高精度：
±1.0% S.P.(*1)
1秒內快速響應(*1)
多氣體，多量程解決方案
(*1)包括SEC-N17XR
11、多氣體，多量程的功能
可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。
Horiba質量流量控制器SEC-N100系列技術參數：
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N102系列 | 數字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協議 模擬式通訊 ?0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供應電源 |
SEC-N104系列 | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標準 |
SEC-N105系列 | CC-Link®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合CC-Link®標準 24VDC(13 ~ 32VDC) |
SEC-N106系列 | PROFIBUS™ 通訊方式 | 符合PROFIBUS™ 標準 24VDC(13 to 32VDC) |
模擬式通訊 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT®通訊方式 | 符合EtherCAT®標準24VDC ± 4V |
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